| 设备参数
项目
参数
描述
备注
陶瓷盘搬送机械手
x1
4轴取片、真空
抛光机
x2
4轴加压盘(速度、压力可调节)
陶瓷盘料库装载平台
单轴、三工位
陶瓷盘料库移动小车
手动升降
陶瓷盘卡塞
x3
8片容量
电源箱
x4
操作面板